第56回応用物理学関係連合講演会 シンポジウム
「偏光計測の基礎と応用最前線」
日時: 2009年3月30日(月) 13:00-16:45
場所: 筑波大学(茨城県つくば市天王台1-1-1)
参加:このシンポジウムの聴講には、(これまでの研究会とは異なり)
学会全体の参加登録(有料)が必要です。御注意下さい。
プログラム
30p-ZT-1
イントロダクトリートーク:偏光計測の基礎と応用最前線(15分)
北大院工 ○岡和彦
30p-ZT-2
偏光解析法概論(30分)
東京工芸大学・工1, 東北大学・多元研2 ○川畑州一1, 津留俊英2, 山本正樹2
30p-ZT-3
分光エリプソメトリーの応用技術と最新動向(45分)
岐阜大・未来太陽光センター ○藤原裕之
30p-ZT-4
半導体リソグラフィ装置の偏光計測(30分)
東芝セミコン社 ○野村博, 古殿瑶子
15:00-15:15
休憩
30p-ZT-5
偏光感受型光コヒーレンストモグラフィー原理と応用(30分)
COG筑波大1, COOG2 ○安野嘉晃1,2
30p-ZT-6
偏光レイトレーシング法による透明物体の3次元形状計測(30分)
広島市立大1, 東大2, ○宮崎大輔1,池内克史2
30p-ZT-7
分光ミュラー行列偏光計とその応用(30分)
東京農工大・工 ○大谷幸利